Anwendungen

Halbleiter beschichten

Der Beschichtungsprozess beschreibt das Auftragen von Material auf ein Substrat. Je nach Anwendung können die Bedingungen stark variieren, wie z.B. im Vakuum oder unter hohem Temperatureinfluss. Dabei werden ebenfalls unterschiedlichste Anforderungen an das Sprühsystem gestellt (Material, Dichtung, Schmiermittel).

Insbesondere in der Halbleiterindustrie, wie z.B. bei der Herstellung von OLED-Displays, spielen Beschichtungsprozesse eine große Rolle für die anschließende Qualität des erzeugten Bauteils. Hier treten hochpräzise Sprühlösungen mehr und mehr in den Vordergrund um eine, für das Endprodukt notwendige homogene Beschichtung über das gesamte Bauteil zu erzielen.